據中國(guo)(guo)科學(xue)院力(li)(li)學(xue)研究(jiu)所消(xiao)息在(zai)中國(guo)(guo)科學(xue)院重大科研裝備(bei)研制項目的資助下，力(li)(li)學(xue)研究(jiu)所國(guo)(guo)家微重力(li)(li)實驗室(shi)靳(jin)剛課(ke)題組成功研制出“光(guang)譜(pu)橢偏成像(xiang)系統”及其實用(yong)化樣(yang)機(ji)。
該研究是利用高靈敏的(de)光學橢偏(pian)測(ce)量(liang)(liang)術(shu)，同(tong)時結合光譜性能及(ji)數字成像技術(shu)，具有(you)對復雜(za)(za)二維(wei)分布的(de)納米層構(gou)薄(bo)(bo)膜(mo)樣品的(de)快(kuai)(kuai)速(su)光譜成像定量(liang)(liang)測(ce)量(liang)(liang)能力。在中(zhong)科院專家(jia)組(zu)對儀器性能和各項技術(shu)指標進行(xing)現場測(ce)試(shi)的(de)基礎上，驗收專家(jia)組(zu)一致認為：系(xi)統為復雜(za)(za)橫向結構(gou)的(de)大面(mian)積多層納米薄(bo)(bo)膜(mo)樣品的(de)快(kuai)(kuai)速(su)表征和物性分析(xi)提(ti)供了有(you)效手(shou)段，是一種納米薄(bo)(bo)膜(mo)三維(wei)結構(gou)表征的(de)新方(fang)法。
光(guang)(guang)譜橢(tuo)偏(pian)(pian)成(cheng)像系統的(de)(de)特(te)點(dian)在于：信(xin)息(xi)量(liang)(liang)大，可同時測量(liang)(liang)大面積樣品上各微區的(de)(de)連續(xu)光(guang)(guang)譜橢(tuo)偏(pian)(pian)參(can)數(shu)，從而可以獲(huo)得(de)相關材料(liao)物理參(can)數(shu)（如厚度、介電函數(shu)、表面微粗糙度、合(he)成(cheng)材料(liao)中的(de)(de)組分比(bi)例等(deng)）及其空(kong)(kong)間分布;空(kong)(kong)間分辨(bian)率(lv)高，對納米(mi)薄膜(mo)的(de)(de)縱(zong)向分辨(bian)和(he)重復性(xing)均達(da)到0.1nm、橫向分辨(bian)達(da)到微米(mi)量(liang)(liang)級;檢(jian)測速度快，單(dan)波長下獲(huo)得(de)圖像視場內(nei)各微區（42萬像素以上）的(de)(de)橢(tuo)偏(pian)(pian)參(can)量(liang)(liang)（ψ和(he)Δ）的(de)(de)采(cai)樣時間達(da)到7秒，比(bi)機械掃(sao)描(miao)式光(guang)(guang)譜橢(tuo)偏(pian)(pian)儀提高2~3個(ge)量(liang)(liang)級;結果(guo)直觀，形成(cheng)視場內(nei)對比(bi)測量(liang)(liang)，可準(zhun)確定位和(he)排(pai)除偽信(xin)號，這(zhe)是單(dan)光(guang)(guang)束光(guang)(guang)譜橢(tuo)偏(pian)(pian)儀所不具備的(de)(de)，并且(qie)系統自(zi)動(dong)化程度高，操(cao)作簡便。
該(gai)系統既可應(ying)用(yong)于(yu)單(dan)(dan)光束光譜橢(tuo)偏(pian)儀所覆蓋的(de)領(ling)(ling)域，也可應(ying)用(yong)于(yu)單(dan)(dan)波(bo)長(chang)或分(fen)立波(bo)長(chang)的(de)橢(tuo)偏(pian)成像儀所涉(she)及的(de)領(ling)(ling)域，適合(he)同時需要(yao)高空間分(fen)辨(bian)和光譜分(fen)辨(bian)測(ce)量的(de)納(na)米薄(bo)膜器件測(ce)量的(de)場合(he)，這將(jiang)為橢(tuo)偏(pian)測(ce)量開拓新(xin)(xin)的(de)應(ying)用(yong)方向。目前已成功應(ying)用(yong)于(yu)“863”項目“針對腫瘤標志譜無標記檢(jian)測(ce)蛋白質微陣列生(sheng)(sheng)物傳(chuan)感器的(de)研(yan)制”等研(yan)究工作(zuo)中(zhong)，并將(jiang)在(zai)微/納(na)制造、生(sheng)(sheng)物膜構造、新(xin)(xin)型電子(zi)器件、生(sheng)(sheng)物芯片(pian)及高密度存儲器件等領(ling)(ling)域中(zhong)發揮重要(yao)作(zuo)用(yong)。 |
