近年來(lai)，傳(chuan)(chuan)感器(qi)正處(chu)于傳(chuan)(chuan)統(tong)型(xing)(xing)向新型(xing)(xing)傳(chuan)(chuan)感器(qi)轉型(xing)(xing)的發(fa)展(zhan)階段。新型(xing)(xing)傳(chuan)(chuan)感器(qi)的特點是微型(xing)(xing)化(hua)(hua)、數(shu)字化(hua)(hua)、智(zhi)能化(hua)(hua)、多功能化(hua)(hua)、系(xi)統(tong)化(hua)(hua)、網(wang)絡化(hua)(hua)，它不僅促進了傳(chuan)(chuan)統(tong)產業的改造(zao)，而且可導(dao)致建(jian)(jian)立新型(xing)(xing)工業，是21世紀(ji)新的經濟增長點。微型(xing)(xing)化(hua)(hua)是建(jian)(jian)立在微電子機械(xie)系(xi)統(tong)（MEMS）技術基礎上(shang)(shang)的，目前(qian)已成功應(ying)用在硅器(qi)件上(shang)(shang)形成硅壓力傳(chuan)(chuan)感器(qi)（如上(shang)(shang)述EJX變送器(qi)）。
微(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)子(zi)機械(xie)加工技術(shu)(shu)，包括體(ti)微(wei)(wei)(wei)機械(xie)加工技術(shu)(shu)、表面微(wei)(wei)(wei)機械(xie)加工技術(shu)(shu)、LIGA技術(shu)(shu)（X光深層光刻、微(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)鑄和(he)(he)微(wei)(wei)(wei)復制技術(shu)(shu)）、激(ji)光微(wei)(wei)(wei)加工技術(shu)(shu)和(he)(he)微(wei)(wei)(wei)型封裝技術(shu)(shu)等。MEMS的(de)(de)發展，把傳感器(qi)的(de)(de)微(wei)(wei)(wei)型化(hua)、智能化(hua)、多(duo)功能化(hua)和(he)(he)可(ke)靠性水平提高到了新(xin)的(de)(de)高度(du)。傳感器(qi)的(de)(de)檢測儀(yi)表，在(zai)微(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)子(zi)技術(shu)(shu)基礎上，內置微(wei)(wei)(wei)處(chu)理器(qi)，或(huo)把微(wei)(wei)(wei)傳感器(qi)和(he)(he)微(wei)(wei)(wei)處(chu)理器(qi)及相關集成電(dian)(dian)路（運算放大器(qi)、A/D或(huo)D/A、存貯器(qi)、網(wang)絡通訊接口電(dian)(dian)路）等封裝在(zai)一起完(wan)成了數字化(hua)、智能化(hua)、網(wang)絡化(hua)、系統化(hua)。（注(zhu)：MEMS技術(shu)(shu)還完(wan)成了微(wei)(wei)(wei)電(dian)(dian)動(dong)機或(huo)執行器(qi)等產(chan)品，將(jiang)另(ling)作文介(jie)紹）網(wang)絡化(hua)方面，目前主要是指采用多(duo)種(zhong)現場總線(xian)和(he)(he)以太網(wang)（互聯網(wang)），這(zhe)要按各行業的(de)(de)特點，選擇其中(zhong)的(de)(de)一種(zhong)或(huo)多(duo)種(zhong)，近年內最流行的(de)(de)有(you)FF、Profibus、CAN、Lonworks、AS-Interbus、TCP/IP等。
除MEMS外(wai)，新型(xing)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)的發展還有(you)賴于新型(xing)敏感(gan)(gan)(gan)(gan)材料、敏感(gan)(gan)(gan)(gan)元件和納米(mi)技術，如(ru)新一代光纖傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)、超導傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)、焦平(ping)面陳列紅外(wai)探測器(qi)、生物傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)、納米(mi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)、新型(xing)量子傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)、微(wei)型(xing)陀螺、網絡化傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)、智(zhi)能(neng)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)、模糊傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)、多功能(neng)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)等。
多傳感器數據融合技術正在形成熱點，它形成于20世紀80年代，它不同于一般信號處理，也不同于單個或多個傳感器的監測和測量，而是對基于多個傳感器測量結果基礎上的更高層次的綜合決策過程。有鑒于傳感器技術的微型化、智能化程度提高，在信息獲取基礎上，多種功能進一步集成以致于融合，這是必然的趨勢，多傳感器數據融合技術也促進了傳感器技術的發展。多傳感器數據融合的定義概括：把分布在不同位置的多個同類或不同類傳感器所提供的局部數據資源加以綜合，采用計算機技術對其進行分析，消除多傳感器信息之間可能存在的冗余和矛盾，加以互補，降低其不確實性，獲得被測對象的一致性解釋與描述，從而提高系統決策、規劃、反應的快速性和正確性，使系統獲得更充分的信息。其信息融合在不同信息層次上出現，包括數據層（像素層）融合、特征層融合、決策層（證據層）融合。由于它比單一傳感器信息有如下優點，即容錯性、互補性、實時性、經濟性，所以逐步得到推廣應用。應用領域除軍事外，已適用于自動化技術、機器人、海洋監視、地震觀測、建筑、空中交通管制、醫學診斷、遙感技術等方面。
我(wo)國傳感器產業要適應技術潮(chao)流(liu)，向(xiang)國內外兩個市場相結合(he)的(de)國際化方向(xiang)發展，讓傳感器和檢測儀表抓住(zhu)信息化的(de)發展機(ji)遇。
